久經考驗，仍然值得信賴

在將久經考驗的反卷積算法集成到新的 Image-Pro 模塊中時，我們進行了一系列實驗室測試，以確保新的集成仍然值得信賴，并且即使在新平臺中也能提供可靠、可重復的結果。下面的白皮書詳細介紹了這些測試的結果和結論。

簡而言之，我們所有的新測試都產生了令人放心的結果。AutoQuant Fixed PSF 和 Adaptive PSF 算法在所有情況下都繼續(xù)提供一致的改進和可靠的數據尤其是對于我們觀察到幾乎相同改進的 3D 數據。事實上，我們的測試都沒有顯示結果存在顯著差異。因此，新模塊經過簡化，僅專注于 3D 圖像的固定 PSF 算法，從而加快設置速度并生成與以前的 AutoQuant 版本相同質量的數據。

一、ProScan H101A

用于正置顯微鏡的電動顯微鏡載物臺

ProScan H101A 是一款用于正置顯微鏡的電動 XY 載物臺，可完全定制。其緊湊的設計使其非常適合集成到 OEM 設備或定制顯微鏡中。

它有一個 2 mm 滾珠絲杠和 200 級電機，可在速度和分辨率之間取得平衡，提供亞微米級的可重復性，同時還提供 H1P4A 平臺的 4 倍速度。Prior 獲得專利的智能掃描技術 （IST） 優(yōu)化了載物臺的精度和線性度。

H101A 可容納各種樣品類型，包括載玻片、多孔板、半導體晶片和冶金樣品。

主要特點

l與大多數品牌的正置顯微鏡兼容，并完全可定制以用于 OEM 項目

l1μm 或更好的可重復性

l安靜可靠

l多種樣品架

l智能掃描技術?（美國專利 7,330,307）

產品兼容

OpenStand-U、OpenStand-M、OpenStand-L

二、ProScan H138A

可容納 8 張載玻片的電動顯微鏡載物臺

H138A 電動 XY 載物臺設計用于集成到定制顯微鏡或 OEM 設計中，并適應不同的硬件配置。

它使用 2 mm 節(jié)距滾珠絲杠和 200 級電機驅動來快速覆蓋其較大的行程區(qū)域，并采用 Prior 的專利智能掃描技術 （IST） 來優(yōu)化平臺精度和線性度。

H138A 最多可容納 8 個 75 mm x 25 mm 顯微鏡載玻片，并提供更長的橫向行程，用于對大型樣品（如 PCB）或多個樣品陣列進行成像。

主要特點

l與大多數品牌的正置顯微鏡兼容，并完全可定制以用于 OEM 項目

l1μm 或更好的可重復性

l擴展橫向行程，適用于較大樣品或多個載玻片的成像

l多種樣品架

產品兼容

OpenStand-U、OpenStand-M、OpenStand-L

三、OptiScan ES111

用于正置顯微鏡的經濟型電動載物臺

ES111 是一款適用于正置顯微鏡的入門級電動 XY 載物臺。它與Prior的OpenStand兼容，可輕松集成到OEM產品或定制顯微鏡中

該載物臺具有可靠且精確的抗反沖絲杠/步進電機，適用于不需要亞微米可重復性的常規(guī)成像應用，是顯微鏡自動化的經濟實惠的選擇

它可容納多種樣品類型，包括載玻片、多孔板、培養(yǎng)皿和拋光冶金樣品。ES111 是為任何顯微鏡應用引入基本電動化的理想平臺 - 它目前用于研究和工業(yè)環(huán)境中的載玻片掃描、顆粒分析、工業(yè)顯微鏡、熒光顯微鏡和計量學

由于其低成本和易用性，ES111 也是電動顯微鏡教育或家用病理系統(tǒng)的理想選擇。

主要特點

l與工業(yè)和生命科學 Nikon 顯微鏡兼容

l 成本低，易于設置且易于使用

l  便于常規(guī)多位置成像和拼接

l  適用于大多數顯微鏡應用的多種樣品架

l  堅固、簡單的設計，可集成到大型復雜系統(tǒng)中

產品兼容：

OpenStand-U、OpenStand-M、OpenStand-L

四、ProScan H105N2F

用于正置顯微鏡的電動平頂 6 英寸移動載物臺

ProScan H105N2F 是一款專為正置工業(yè)顯微鏡設計的電動 XY 平頂載物臺。 

它完全可定制，可集成到 OEM 設備中，但也可直接安裝在尼康工業(yè)顯微鏡和 Prior OpenStand-L 平臺上。有關詳細信息，請參閱產品兼容性選項卡。

它具有 154 x 154 mm 的 XY 行程，針對掃描 6 英寸半導體晶片和其他工業(yè)樣品進行了優(yōu)化。

H105N2F 可靠、高效地掃描工業(yè)樣品。它采用 Prior 的專利智能掃描技術 （IST） 來提高精度和線性度，并采用 2 毫米滾珠絲杠以提高速度。

其平頂板便于取用樣品進行上樣，并確保與各種光學元件兼容。

它與 Nikon NIS Elements 軟件兼容（需要適當的軟件包）

主要特點

l易于集成到定制的成像解決方案中

l直接與 Nikon 工業(yè)顯微鏡和軟件兼容

l美觀且用戶友好的平頂設計

l行程范圍支持 6 英寸晶圓

l智能掃描技術?（美國專利 7,330,307）

五、ProScan H116/2

用于正置顯微鏡的電動平頂 6 英寸移動載物臺

用于正置工業(yè)顯微鏡的ProScan H116/2電動XY載物臺與Prior的OpenStand-L平臺兼容，并且是完全可定制的。

它具有較長的行程范圍和 25 kg 的負載能力，可用于掃描大型重型樣品，例如 8 英寸半導體晶片、平板顯示器和直徑達 200 mm 的印刷電路板。

H116/2 采用 Prior 的專利智能掃描技術 （IST），可提高精度和線性度，并采用 2 mm 滾珠絲杠以提高速度。它可以可靠、高效地掃描大型工業(yè)樣品。

根據您所在的地區(qū)，可能提供其他用于提高速度的驅動器配置。

它與透射光應用兼容，便于上樣。

主要特點

l易于集成到定制的成像解決方案中

l支持 8 英寸晶圓，具有額外的 X 軸行程范圍，便于樣品加載

l纖薄設計，負載能力為 25 kg

l速度和精度的完美結合

l智能掃描技術?（美國專利 7,330,307）

六、ProScan H112/2ST

用于正置顯微鏡的電動 12 英寸移動載物臺

ProScan H112/2ST 電動 XY 載物臺與尼康和 Evident/奧林巴斯正置工業(yè)顯微鏡、Prior 的 OpenStand-L 平臺兼容，并且可以 輕松集成到定制顯微鏡中。

它專為掃描大型重型樣品而設計，如 12 英寸半導體晶片、平板顯示器和印刷電路板，可提供 Prior XY 平臺中最長的行程范圍。它與透射光應用兼容。

H112/2ST 采用 Prior 的專利智能掃描技術 （IST），可提高精度和線性度，并采用 2 mm 滾珠絲杠以提高速度。

該載物臺與 Nikon NIS Elements、Olympus Stream Motion 和 Evident PRECiV 軟件兼容（需要適當的軟件包）

主要特點

l直接與 Nikon 和 Evident/Olympus 工業(yè)顯微鏡和軟件兼容

l輕巧纖薄的設計便于集成

l適用于半導體應用的 12 英寸行程范圍

l智能掃描技術?（美國專利 7,330,307）

七、ProScan HWL6AL12

電機驅動的半導體晶圓檢查穿梭機平臺，奧林巴斯晶圓處理系統(tǒng)

Prior Scientific的電動穿梭臺設計用于晶圓檢查，使用奧林巴斯的AL120晶圓處理系統(tǒng)。該臺大大減少了操作員的錯誤和疲勞，同時提高了晶圓檢查的速度

HWL6AL12自動加載和卸載晶圓。在操作過程中，shuttle系統(tǒng)會自動移動到正確的裝載位置并激活裝載器開關，通知裝載器晶圓夾具已準備好接收晶圓。在轉移到shuttle后，shuttle縮回，允許檢查。該平臺允許使用操縱桿進行手動檢查，或預先編程的模式進行完全自動化的檢查。

HWL6A L12具有較大的行程范圍，結合出色的重復性和分辨率，與Prior的ProScan III系統(tǒng)結合使用，確保準確性、精確度、最小誤差和最終更有效的晶圓檢查過程。

主要特點

l行程范圍為250 x 210毫米

l分辨率 0.04 微米

l重復性為±0.2微米

l自動加載和卸載晶圓

l與ProScan III系統(tǒng)和奧林巴斯AL120晶圓處理系統(tǒng)兼容

八、H116SPN

用于尼康晶圓處理系統(tǒng)的電動半導體晶圓穿梭臺

ProScan lll系統(tǒng)獲得專利的智能掃描技術 （IST）ProScantm lll 控制器和載物臺包括標準IST，可顯著提高載物臺的測量精度，先前的交互式控制中心PS3J100本地控制中心提供位置反饋和測量能力

要獲得這些結果，需要使用優(yōu)先ProScan?三級（或更高）控制器。通過優(yōu)先測試方法獲得的結果。* ProScanTlll控制器具有回差校正功能時的平均性能；所有重復性都是單向的。SPR電機每轉的完整步數

主要特點

l雙向可重復性±1.3微米

l單向可重復性±0.2微米

l最大行程范圍250×210毫米

l最小步長（分辨率）0.04微米

l推薦速度40毫秒

l滾珠絲杠螺距2毫米

l電動機類型200SPR

l重量9千克